2012年全球光伏发展研究报告

2012全球光伏产业发展研究报告

-----By欧盟联合能源研究中心

译者:田凌 甘肃自然能源研究所/联合国工发组织国际太阳能中心

Email: [email protected] 0931-8386604

3.光伏工业

2010年,全球光伏市场产量翻番,达到23-24GW。据多家咨询及相关组织报道,已安装系统达到16-18GW,这主要指并网光伏市场。对于离网和消费品市场,占有量未做单独统计,与其它部分综合粗略统计约6-7GW所有这些野心勃勃的产能快速扩张计划,基于对市场相应增长的预期。但是,这一点非常不确定。2011年市场估值在17GW-24GW之间,而业界一致认为该值在19GW左右。此外,大部分市场仍依靠上网电价、投资补贴以及减免税等公共政策的支持。

图6. 全球光伏市场产能示意图

截至目前,太阳能光伏系统发电情况表明,其电价低于电力调度时的峰值电价。2011年第二季度,德国平均价格指数表明,100KWp屋顶系统在不含税或者五年前价格一半的情况下,是2422欧元/KWp。 以当前的投资成本,太阳能系统发电成本已经跟一些国家的居民电价持平,当然,这种比较基于当地实际电价和当地的太阳辐照度。但是,只有应用市场和竞争持续增长,对用户来说光伏系统的价格持续下降并且光伏发电甚至会比传统资源的电价更为便宜。为了使光伏系统价格下降以及达到平价发电,公共政策的支持,尤其是监管措施在下个十年非常必要。

3.1 技术分析MIX

硅基底太阳能电池仍然是当今的主流技术,2010年,其市场占有率为85%。商业组件的效率在12%-20%之间。其中,单晶硅组件转化效率在14%-20%,多晶硅组件转化效率在12%-17%。这两种组件大规模制造产能的增加导致了多晶硅原料的制造产能增加。

有200多家公司从事薄膜太阳能电池从研发到生产的某个环节,这其中有超过120家公司已经宣布开始或者扩大生产。2005年,薄膜太阳能电池组件生产首次超过100MW/年。2007年,首个100MW的薄膜电池工厂开始运行;2010年,第一个1GW的工厂投入运营。如果所有的产能扩张计划正常释放,2012年薄膜电池的产能可达17GW,占所有电池产能80GW的21%;2015年薄膜电池产能将达到27GW,占所有太阳能电池产能的26%。

图7. 全球晶硅电池和薄膜电池产能预测

我们需要明确一点,在这超过120家的已宣布制造计划的公司里,仅仅有三分之一在2010年生产的薄膜电池组件超过10MW。

有超过70家公司生产非晶或非晶/微晶太阳能电池组件,36家公司生产CuInSe类化合物薄膜太阳能电池组件,仅有9家公司生产CdTe太阳能电池组件,8家公司准备生产染料敏化及其它太阳能电池。

聚光太阳能电池是一种新的技术,虽然起点底,但是发展速度非常快。超过50家公司活跃在聚光太阳能电池领域,其中60%于最近5年成立,一半以上的公司位于美国和欧洲。

区别聚光太阳能电池技术主要看聚光因子以及使用蝶式还是聚光镜式。CPV主要的组成部分是电池、光学系统和跟踪系统。CPV的发展主要基于这几部分技术的发展以及系统集成。然而,必须指出CPV的发展处于刚刚起步的阶段,在技术与成本上都具有相当大的发展潜力,与其它已经发展相对成熟的光伏技术比较来说,最大的挑战在于成本竞争力,才能为该项技术的发展赢取机会空间。

2010年CPV市场估计在10MW-20MW, 份额很小,但分析预计,2015年全球市场会超过1000MW。届时,CPV的市场将由Concentrix Solar, Amonix和SolFocus三大系统制造商所垄断。

现有光伏技术的纷呈将会为将来行业整体发展奠定坚实基础。没有一项单独的技术可以满足客户从几瓦的移动设备、消费品应用,甚至数兆瓦的大规模发电厂这样多样化的需求。在材料或技术局限影响单项技术发展的条件下,技术多元化是太阳能光伏发电的有效途径。

3.2 太阳能电池生产公司13

世界上有350多家公司生产太阳能电池。接下来的章节将对其中20家最大的公司从2010年实际生产量和装货量的角度进行简短的评述。关于其它太阳能电池公司更多的信息和详情可以查阅其它市场调查报告以及本报告中关于各个国家的章节。

3.2.1 无锡尚德

无锡尚德公司位于中国无锡。由施正荣博士于2001年1月创建并于2005年12月上市。尚德公司主要从事太阳能电池、组件及系统的设计、研发、生产和销售。2010年据尚德公司报告,其出货量为1507MW,从而一跃成为电池制造商的顶尖行列。2010年末,其年度产能增至1.8GW,公司计划2011年产能达到2.4GW。

3.2.2 晶澳太阳能

晶澳太阳能公司于2005年由河北晶龙工贸集团和澳大利亚太阳能发展。。。和澳大利亚光伏科学与工程公司共同投资创建,并于2006年4月投入运营。2007年2月7日上市。据公司报告,其产能2010年1.9GW,2011年2.5GW。2011年,其出货量为1460MW。

3.2.3 First Solar

First Solar公司是世界上少数几个生产CdTe薄膜组件的公司之一。公司目前有三个生产基地,分别位于美国的Perrysburg、德国的Frankfurt/Oder及马来西亚的Kulim。2010年底共计产能有1.5GW。

3.2.4 Sharp Corporation

Sharp从1959年开始研发太阳能电池并且于1963年开始商业化生产。Since its products were mounted on “Ume”, 日本第一次商业化应用在人造卫星上。1974年,夏普是日本唯一把硅太阳能电池应用在太空上的制造商。另一个里程碑是1980年,安装了单晶硅太阳能电池的电子计算机的问世。

2010年,夏普拥有年1070MW的产能,并且据IKK2011年的报告,其出货量为1.17GW。夏普在日本有两个太阳能电池生产基地:Katsuragi, Nara Prefecture和Osaka。6个组件工厂和用来回收和生产硅的Toyama工厂。其中3个组件工厂建在日本以外,1个在Memphis,Tennessee,美国,拥有100MW产能,1个在Wrexham,英国,拥有500MW产能,还有1个在Nakornpathom, 泰国。

3.2.5 天合太阳能

天合太阳能建于1997年,并于2006年12月上市。该公司拥有从铸锭到电池片到组件完整的生产线,2005年12月,30MW的单晶硅片生产线投产。据公司方透露,截止2010年,该公司拥有750MW铸锭和切片产能和1.2GW电池和组件的产能。2011年,该公司计划将铸锭切片产能扩张至1.2GW,电池和组件产能扩张至1.9GW。2010年,报告指该公司拥有1.06GW的出货量。2010年1月,该公司被科技部授予国家光伏技术重点实验室。该实验室被打造成促进中国光伏技术的国家级平台,致力于光伏材料、电池、组件技术以及系统效率的综合研究。同时,它还作为一个整合公司战略伙伴,原材料供应商、客户以及高校和科研机构技术的平台。

3.2.6 英利绿色能源

英利绿色能源公司于2007年6月8日上市。其主要子公司----保定天威英利新能源资源公司,位于保定国家高新技术工业园区。公司致力于整套服务提供。据公司报告,2010年7月其产能达到1GW。正在进行的扩张计划预计达到1.7GW并预计2011年末投入运营。2010年财报表明其出货量达到1.06GW。2009年1月,英利获得Cyber Power Group limited,进入多晶硅生产的产业链。其全资子公司----Fine Silicon 2009年末开始试生产太阳能级多晶硅,并预期于2011年底达到年3000吨的产能。

2010年1月,科技部通过了在保定绿色能源公司的基础上建立国家级光伏重点试验室的申请。

3.2.7 Q-Cell

Q-Cells SE(www.qcells.de)公司创建于1999年底,于2001年中期开始生产太阳能电池,拥有一条12MW的生产线。2010年年报指出,公司在2010年底拥有的正常产能是1.1GW,其中,500MW在德国,600MW在马来西亚。2010年,产量有936MW,其中479MW在德国,457MW在马来西亚。

在公司建立后的前5年,公司通过投资不同的产品类型,以及联合资本的方式拓宽和多元化产品结构。截止2009年前半年,Q-Cell卖出了大部分旗下的控股公司,留下了唯一的全资子公司Solibro,其在2010年拥有75MWCIGS电池的产能。

3.2.8 茂迪太阳能

茂迪太阳能是茂迪工业集团旗下的全资子公司,位于台湾科技工业园区。公司于2000年底开始量产多晶硅太阳能电池,并拥有3.5MW的年产能。产量从2001年的3.5MW增加到2010年的850MW。2009年,茂迪开始在中国大陆投资建厂,预计在2011年产能达到500MW。2010年底公司产能总计1.2GW,其中860MW在台湾,340MW在中国大陆。

2007年,茂迪太阳能研发部升级成为研发中心,目标不仅仅是提高现有的硅片和电池生产工艺,重点是研发下一代太阳能电池技术。2009年末,公司宣布收购位于美国Delaware的通用电气的组件生产部门。

3.2.9 Gintech Energy

昱晶能源科技2005年8月创建,并于2006年12月上市。在台湾新竹工业园区有个生产工厂,并与2007年投产,初始产能260MW,到2010年末,该厂产能已达930MW。公司计划2011年将产能扩大至1.5GW。2010年,公司的产量是827MW。

3.2.10 京瓷公司

1975年,京瓷公司开始太阳能电池的研究。Shiga Yohkaichi工厂建于1980年,并与1982年开始量产多晶硅太阳能电池及相关产品。1993年,京瓷公司成为日本第一家销售太阳能户用发电系统的公司。

除了太阳能电池生产厂,京瓷公司在中国天津有组件生产厂。

2010年,京瓷拥有650MW的产量并且涉足太阳能发电和热利用市场。它的Sakura工厂,主要从事研发、系统设计与服务。Shiga工厂,从事太阳能电池、组件、设备以及光热组件的研发和生产。京瓷计划快速提升产能,从2010年的650MW增加到2011年800MW,2012年1GW。

3.2.11 SunPower

SunPower公司是Richard Swanson和Robert Lorenzini两人于1988年创建,最初的想法是将他们所掌握的高效硅太阳能电池技术商业化。公司与2005年11月上市。SunPower基于交叉背部互联技术设计制造高效硅太阳能电池并使其商业化。最初的产品于1992年问世,效率高达26%。SunPower同时也生产效率22%的Pegasus太阳能电池。SunPower在加利福尼亚的光谷设置研发中心,而其制造工厂设在菲律宾马尼拉,拥有590MW产能,有两个Fab。Fab3是和AUO公司联合投资的,也位于马来西亚,有1.4GW的产能,2010年报产量584MW。

3.2.12 Canadian Solar Inc.

加拿大太阳能公司2001年建于家大大,并且于2006年11月在纳斯达克

上市。该公司在中国设立了6个全资子公司,进行铸锭、硅片、电池和组件的生产。据公司方面报告,2010年拥有200MW的硅锭和硅片的产能,800MW电池产能,1.3GW组件制造产能。公司声称2011年将产能扩大至电池1.3GW,组件2GW。2010年,公司报告其太阳能电池的产量522MW,组件的销售量802MW。

3.2.13 Hanwah Solar One

Hanwah Solar One于2004年创建,前身国最

大的电源仪表制造商羚羊电子投资的Solarfun Power控股。2010年,韩国Hanwha Chemical公司获得49.99%股份,并于2011年1月更名。公司生产硅锭、硅片、电池以及太阳能组件。第一条生产线2004年末建成,并于2005年11月开始商业化生产。公司于2006年12月上市,2008年二季度产能扩张至360MW。

2011年4月30日,公司宣布拥有1GW组件产能,700MW电池产能,415MW硅锭产能以及500MW线切割产能。并宣布将在2011年末,将产能扩张至组件1.5MW,电池1.3GW,硅锭和切片达到1GW。

2010年报称,公司年生产量硅锭360MW,切片387MW,电池502MW,组件759MW。

3.2.14 Neo Solar Power Corporation

Neo Solar Power新日光能源科技股份有限公司

由力晶半导体公司创建于2005年,力晶半导体是台湾最大的DRAM制造商。新日光能源科技股份有限公司于2007年10月上市。公司生产单晶、多晶太阳能电池,并提供转化效率16.8%的多晶硅电池SUPERCELL。2010年末,公司产能达到820MW,并计划2011年将产能扩张至1.3GW。2010年,公司的出货量是500MW。

3.2.15 Renewable Energy Corporation AS

REC公司是全球最具成本优势的太阳能公司,其整

个价值链目前遍布全球。通过多个集团公司,REC的业务已涉及完整的光伏产业链。公司位于挪威,拥有5个主营业务,涉及领域从硅原料的生产到太阳能系统的安装。REC ScanCell 位于纳尔维克,专门从事太阳能电池生产,从2003年开始,公司处于扩张态势,直到2010年,其电池产能已达452MW。

3.2.16 Solar World AG

Solar World成立于 1998年,起初是一家太阳能系统

和组件的分销商,现今已成为一家涉及从硅片生产到系统安装的光伏产业一体化公司。公司目前在德国弗莱堡,美国俄勒冈生产硅片、电池及组件。其余生产位于美国加州。2008年Solarworld和SolarPark Engineering公司联合投资在韩国jeonju设厂。

2010年开始,在德国的太阳能电池产能达到250MW,美国500MW。2010年,总的产量是451MW,其中200MW在德国,251MW在美国。

2003年,Solar Wolrd是全球第一家从事硅太阳能电池回收业务的公司。其分公司Deutsche Solar AG成为第一家从事晶硅电池、组件回收再利用的工厂。

3.2.17 Sun Earth Solar Power Co. Ltd.

日地太阳能Sun Earth Solar Power,也叫宁波太阳能,

是中国普天集团公司控股企业。公司有四个工厂分别生产硅料、硅锭、系统集成及系统应用产品。据公司称,日地公司从美国和日本进口了电池和组件生产、封装线。

2007年,日地公司重新选址并落户在宁波高新技术产业园区,作为日地公司全球总部。生产硅片,电池和组件。2009年,公司完成了第二阶段的产能扩张,达到350MW。2010年,计划产能达到450MW;2011年,达到700MW;2012年,达到1GW。2010年,公司出货量大421MW。

3.2.18 E-TON Solartech Co. Ltd.

E-TON Solartech (www.e-tonsolar.com)益通光能公司成立于2001年。是一

家有着多国投资背景的公司,专注于可再生能源和技术的解决方案。并于2006年在台湾OTC证券市场上市。2010年底,公司产能为560MW,并预计2011年,其产能达到820MW。2010年,公司太阳能电池出货量为420MW。

3.2.19 SANYO Electric Company

三洋公司于1975年开始非晶硅太阳能电池的研

发。1980年,三洋公司的非晶硅太阳能电池开始为客户量产。10年后,即1990年开始生产HIT电池。1992年,Kuwano博士在自家居所安装了第一套户用光伏系统。1993年,三洋的非晶硅组件用于发电应用。1997年,三洋的HIT电池开始量产。2010年,三洋的电池产量是405MW。公司宣称,将把HIT电池的产能从2009年的500MW提高到2011年的650MW。

2002年底,三洋宣布在海外开始组件生产。目前,公司在墨西哥有一家HIT电池的组件成产厂。公司还联合夏普、京瓷公司在欧洲建组件工厂。2005年,三洋在匈牙利建了一座组件工厂。三洋创造了HIT电池效率的世界纪录,实验室条件下达23%。HIT电池使太阳能电池可以有效地利用吸收太阳的散射辐射,双面发电,因此,和单面发电的组件比较,其发电效率在垂直安装时可以提高30%。

3.2.20 中电电气光伏有限公司

China Sunergy中电电气光伏是由中国电器集团和澳大利亚光伏研

究中心于2004年联合投资兴建的。2007年5月上市。2008年末,公司投建了5条选择性发射极太阳能电池生产线,4条HP太阳能电池生产线,3条单多晶硅片电池生产线,1条P型多晶硅电池生产线,总计产能320MW。2010年底,公司拥有400MW的太阳能电池产能和480MW的组件生产产能。2011年,预计产能扩大至电池750MW,组件1.2GW。2010年,公司的生产量为347MW。

3.3 多晶硅供应

2000年光伏工业的快速增长导致了2004年至2008年初对多晶硅的需求超

出了半导体工业的供应量。提纯硅的价格在2007年和2008年急速增长,最高时的价格为500美金/公斤,相应地,光伏组件的价格也高居不下。高涨的价格导致大规模产能的扩张,这中间除了已建企业,也包括很多新进企业。2009年,市场上超过90%的半导体工业和光伏产业用多晶硅由7家公司供应。他们分别是Hemlock,Wacker Chemie,REC,Tokuyama,MEMC,Mitsubishi和Sumitomo。而现在,市场上大约有70家公司。大规模的产能扩张加上严峻的经济形势,导致2009年全年多晶硅价格下降,到2009年底,多晶硅的价格跌倒50-55美金/公斤。2010年到2011年初,价格有略微的上涨。

据报道,2010年太阳能级多晶硅的产量大约有14万吨,按平均7g/Wp的假设,足够生产20GW太阳能电池。这其中,中国生产了45000吨,占32%,能够解决国内75%的需求。按照Semi PV Group的路线图,中国的多晶硅产能在2010年达到85000吨。

2011年1月,中国工业信息化部收紧多晶硅产业发展政策。新上项目必须在年产能3000吨以上,并且满足明确的能效、环境、财政指标。年多晶硅生产最大单位能耗不得超过80kWh/kg,且截至2011年,单位能耗需降至60kWh/kg。已上项目能耗大于200kWh/kg的,必须在2011年底前关停。

预计2012年专为太阳能行业的多晶硅产能在25000吨[Ber 2010]和410665吨[IKK 2011]之间。太阳能电池的产量可依照每Wp的材料用量来估算。2012年,原材料消耗将从7-8g/Wp降至5-6g/Wp,当然,这个指标只是其中一部分生产厂家可以做到。

3.3.1 多晶硅制程

光伏工业的快速增长以及市场的动态变化使得生产高纯硅的企业不断改

良其生产工艺以求进步,这主要着眼两种化学气象沉积方法。一种是比较普遍的西门子法;另一种是基于流化床反应的制造方案。两种工艺的改良法在不远的将来将成为多晶硅生产工业的有效途径。

西门子法 20世纪50年代末,西门子反应法已成熟。并且从那时开始成为主流技术路线。2009年,全球有80%的多晶硅制造商都采用西门子法。西门子工艺的原理是,在高纯硅芯上,用高纯氢还原高纯三氯氢硅,生成多晶硅沉积在硅芯上。硅的生长发生在一个密闭的反应腔内,也可称为“钟罩”,里面含有各种气体。硅芯由外部直流加热到可以发生气象沉积的温度,大概在1100℃-1175℃,在此温度下,氢可将三氯氢硅还原成单质硅并以薄膜的形式沉积在硅芯上。氯化氢是副产物。

最关键的工艺参数是温度的控制。气体和硅芯的温度必须足够高才能使硅气体沉积在硅芯固体表面,但是要比硅的熔解温度1414℃低。其次,沉积速率必须很好的控制不能过快,否则,Si将无法连续的生长成多晶硅晶体,而不能满足于半导体或太阳能应用所需。

流化床法 少数几家公司采用流化床反应工艺生产多晶硅。采用流化床法的优势在于低能耗,以及相比西门子法批次生产可以连续生产。流化床工艺是在高温高压下,将SiH4或SiHCl3和H2通入流化床反应腔内,发生热分解反应生成Si。反应速率均匀,高纯硅种从反应强上部注入,并由向上的气流吹起呈悬浮状。反应温度大概在750℃左右,SiH4被还原成Si并沉积在硅颗粒表面,底部的硅颗粒不断翻滚以增大反应表面积。

MEMC电子材料,是一家硅晶片制造商,利用流化床法使用硅烷原料生产颗粒硅已经十余年。许多新的企业也在使用多种流化床法。多晶硅行业的一些主要生产商,包括Wacker Chemie和Hemlock,在研发流化床工艺的同时,采用西门子工艺生产多晶硅。

冶金法是一种生产较廉价的5-6个9纯度太阳能级多晶硅的方法,但是对这种方法的支持度在渐渐减退,原因是用其它方法生产的高纯度的硅更具价格竞争力。一些公司因为价格不景气、较高纯度冶金级硅原料供应不足,延迟或中止了用冶金法生产太阳能级多晶硅的方案。

3.4 多晶硅制造商

世界上有超过100家公司生产多晶硅。接下来的章节将按照2010年产能简

要介绍世界前十大公司。更多的关于其他多晶硅公司的信息请参照其他市场调研报告以及本报告中的国家章节。

大公司

3.4.1 Hemlock Semiconductor Corporation

Hemlock Semiconductor Corporation位于美国密西根。

道康宁公司持有63.25%股份,两家日本公司Shin-Etsu Handotai 公司持有24.5%股份、Mitsubishi Materials公司持有12.25%股份。公司是半导体及太阳能行业多晶硅和其他硅产品的领军企业。

2007年,Hemlock分部拥有多晶硅产能10000吨,2008年6月产能扩张至19000吨。2008年在田纳西州的新建工厂产能在2010年达到36000吨,计划2011年、2012年分别达到40000、50000吨。[IKK2011]

3.4.2 Wacher Polysilicon

瓦克多晶硅公司是一家为半导体行业和光伏行业生产

高纯多晶硅的企业。2010年,瓦克将产能能扩大至超过30000吨并于年内生产多晶硅30500吨。在德国萨克森地区扩张10000吨产能并于2011年开始生产。2010年,公司决定在田纳西建一座拥有15000吨产能的工厂,该工厂2011年4月动工并预计2013年末完成建设。

3.4.3 OCI Company

OCI公司是一家全球性的化学公司,

其产品涉及无机化学、石油及碳化工、精细化工及可再生能源材料。2006年,公司开始多晶硅业务并成功地于2007年12月建立一座产能6500吨的工厂P1。

2009年1月扩建产能10500吨的P2和产能10000吨的P3。2010年底,共计产能27000吨。对P3的工艺瓶颈改造预计将于2011年底完成,届时产能将达到42000吨。2012年计划建成产能20000吨的P4,2013年建成产能24000吨的P5。P4已经动工,P5将在今年下半年动工。

3.4.4 GCL-Poly Energy Holdings Limited

GCL-Poly2006年3月创建,并于2006年7月开始

建设徐州多晶硅厂。第一期建设计划年产能1500吨并于2007年10月出货。2008年3月达到产能最大化运行。2010年底,产能达到21000吨,2011年、2012年产能分别达到46000吨、65000吨。2010年公司报告产量17850吨。

2008年8月,公司联合投资方泰兴中能远东公司开始试生产三氯氢硅。第一期计划生产20000吨,未来扩大至60000吨。

3.4.5 MEMC Electronic Materials Inc.

MEMC电子材料公司总部位于美国密苏里州。1959

年开始运营,其主要产品是半导体级硅片、多晶硅颗粒、超纯硅烷、三氯氢硅、氟化硅及四氟化铝钠。2008年、2009年,MEMC的产能分别达到8000吨、9000吨。

3.4.6 Renewable Energy Corporation AS

RECREC公司是全球最具成

本优势的太阳能公司,其整个价值链目前遍布全球。通过多个集团公司,REC的业务已涉及完整的光伏产业链。公司位于挪威,拥有5个主营业务,涉及领域从硅原料的生产到太阳能系统的安装。

2005年,Renewable Energy Corporation AS接管了Komatsu的美国子公司,先进硅材料公司,并宣布成立REC硅业部门,由REC先进硅料和REC太阳能级硅业公司组成。2010年底,产能达到17000吨,并于年内生产11460吨电子级硅。

3.4.7 LDK Solar Co. Ltd.

LDK是由Liouxin集团投资创建的。公司生产个人

防护设备、电力工具以及电梯。随着LDK Solar的创立,公司拓展进太阳能领域。2007年5月,LDK Solar上市。2008年,公司宣布建成1000吨多晶硅厂并投产。按照公司规划,2010年末产能达到12000吨,并于2011年产能扩张至25000吨。2010年,多晶硅产量达5050吨。

3.4.8 Tokuyama Corporation

Tokuyama是一家生产太阳能级多晶硅的化学公司。

是世界级的多晶硅领军制造商之一,其生产的电子级和太阳能级硅的全球占有率高达16%。据公司报,2008年产能达5200吨,2010年扩张至9200吨。2011年2月,公司在马来西亚新建一间产能20000吨的工厂,第一期6200吨生产线将在2013年建成。

一座利用汽液相沉积工艺生产太阳能级多晶硅的仿真工厂于2005年12月建成。公司计划通过对该种工艺的仿真测试而获得稳定工艺,以提高太阳能级多晶硅的生产效率。Tokuyama决定联手Mitsui化学共同经营,后者是一家知名的硅烷气体提供商,与之联合可以满足由于非晶、微晶硅薄膜电池快速扩张而对硅烷气体的需求。